除了人员进出洁净室须予以规范管理外,原材料及设备进出也必须经过洁净程序,方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行,但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10,000级房间,工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服,所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布,清洁剂除了使用超纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或化学品,以增强去污能力,常州无尘室设备,由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免破坏地板支架及地板表面,必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板,作为辅助。
清洁室内用品除了进出洁净室用的洁净衣、防静电鞋、头罩、帽、手套、口罩外,尚有如纸张文具桌子、椅子、晶片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、真空洗尘器等。洁净衣材料以洗后或使用其他处理后仍不会变质或发尘者为基本条件,且其布料为不燃、不起毛,其织法或布料组织不易通过污染物和不易附著污染物材质,无尘室设备包装搬迁怎么收费,另外经过摩擦不产生静电或带电性非常,洗涤再生容易、不易皱、著衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸(或无纤纸)制成,帽子材质则与洁净衣同,二者在穿戴使用时,除了只露出眼睛或脸表面部分外,其他部分均须包覆,在头部部分连接上衣处也必须完全盖住,不能留有空隙,头发亦不能露出来。
在电子元件制品的制造过程中,微粒子污染对成品率有重大影响,故应在过程中严格控制微粒子的数量,遵守“不携入、不发生、不储备、除去”四项基本原则以防止微粒子污染。
无尘室内的浮游微粒子浓度,无尘室设备定位安装方案,使用的过滤器即可容易达到零水平,实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等,在制造品周边扬起了少许的微粒子,因而造成了元件清洁面的粒子污染。
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